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GRM1201 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 1200 m3/h 반도체 PECVD MOCVD를 위한 기름 없는

Name: GRM1201 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 1200 m3/h 반도체 PECVD MOCVD를 위한 기름 없는
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM1201
Price: 10,500.00 USD
Availability: InStock

제품 세부 정보:

원래 장소:	중국
브랜드 이름:	Baosi
인증:	CE
모델 번호:	GRM1201

상세 정보

원래 장소:

중국

브랜드 이름:

Baosi

인증:

모델 번호:

GRM1201

펌핑 속도:

1200m3/h

궁극의 압력:

≤0.15 Pa

모터 파워:

1.9+1.9kW

전압:

380V/3상

입구:

ISO160

콘센트:

KF25

소음:

63dB(A) 이하

무게:

260kg

치수:

865×344×751mm

냉각수:

0.1-0.6MPa, ≥4L/분

N2 퍼지:

0.2-0.6MPa, 12-50L/분

강조하다:

High Light

강조하다:

고속 뿌리 진공 펌프

1200m3h 건조 진공 펌프

PECVD MOCVD 프로세스 진공

거래 정보

최소 주문 수량:

1세트

가격:

USD 8500-12500/Set

포장 세부 사항:

표준 목재 케이스 포장 수출

배달 시간:

15-30 영업일

지불 조건:

T/T,L/C

공급 능력:

50 세트/달

제품 설명

GRM1201 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 1200 m3/h 반도체 PECVD MOCVD를 위한 기름 없는 고속 진공 펌프

GRM1201 다단계 뿌리 건조 진공 펌프

GRM1201는 1200m3/h의 펌핑 속도를 제공하는 고속 다단계 뿌리 건조 진공 펌프로 최종 압력은 ≤0.15 Pa입니다.GRM601 (865 * 344 * 751 mm) 와 같은 컴팩트 플랫폼을 공유합니다., 260 kg) 하지만 더 높은 처리량을 위해 ISO160 입구를 가지고, 그것은 PECVD, MOCVD 및 요구 반도체 깨끗한 및 중간 프로세스 응용 프로그램에서 우수합니다.

주요 특징

고속 다단계 뿌리:1200m3/h, 낮은 전력 소비
이중 모터 효율:1.9+1.9 kW 영구 자석 동기 모터
최고 압력:≤0.15 Pa는 까다로운 공정 요구 사항을 충족합니다.
초음성:≤ 63 dB (A) ∙ 청정실과 호환되는 소음 수준
큰 ISO160 입구:생산 규모의 애플리케이션을 위해 높은 가스 처리 처리
기름 없는 깨끗한 진공:민감한 반도체 프로세스에 대한 기름 오염이 없습니다.
우수한 먼지 처리:입자가 풍부한 환경에 대한 고급 로터 설계
컴팩트 플랫폼:GRM601과 같은 발자국
세 개의 밀폐 시스템:입술 밀폐 + 미 Maze + 질소 정화 보증 기름 없는 진공
스마트 연결:원격 공장 통합을 위한 I/O 및 RS485 (Modbus)

기술 사양

모델	GRM1201
펌프 속도	1200m3/h
최후 압력 (청소 없이)	≤0.15 Pa
모터 전력	1.9 + 1.9 kW
전압	380V (3단계)
입구 연결	ISO160
전원 연결	KF25
소음 수준	≤ 63 dB ((A)
무게	260kg
크기 (LWH)	865 * 344 * 751 mm
냉각 물 압력	00.6 MPa
냉각 물 흐름	≥4 L/min
N2 정화 압력	0.2·0.6 MPa
N2 정화 흐름	12~50 L/min
작동 온도	5~40°C, RH ≤90%

신청서

반도체: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, 금속 에치, 실리콘 에치
태양광: 고출력 태양전지 제조 라인
리?? 배터리: 생산 규모의 셀 건조 및 전해질 처리
플래트 패널 디스플레이: OLED 및 LCD 제조

태그:

GRM1201 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 1200 m3/h 반도체 PECVD MOCVD를 위한 기름 없는

High Light

강조하다:

고속 뿌리 진공 펌프

1200m3h 건조 진공 펌프

PECVD MOCVD 프로세스 진공

터보 진공 펌프,

고 진공 펌프,

고속 뿌리 진공 펌프

물 냉각 건조 진공 펌프 1200m3/h,≤0.15Pa1.9kw,GRM1201

수냉식 건식 진공 펌프 200m³/h, ≤0.5Pa, 1.9kw, GRM201

수냉식 건식 진공 펌프 600m³/h, ≤0.15Pa, 1.9kw, GRM601