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GRH6002 건조 손톱 진공 펌프 6000 m3/h 반도체 공정용 초고량 기름 없는 진공 펌프

GRH6002 건조 손톱 진공 펌프 6000 m3/h 반도체 공정용 초고량 기름 없는 진공 펌프

제품 세부 정보:
원래 장소: 중국
브랜드 이름: Baosi
인증: ISO9001,ISO14001,ISO45001
모델 번호: GRH6001
상세 정보
원래 장소:
중국
브랜드 이름:
Baosi
인증:
ISO9001,ISO14001,ISO45001
모델 번호:
GRH6001
펌핑 속도:
6000m3/h
궁극의 압력:
≤0.5Pa
모터 파워:
11+7.5kW
전압:
380V/3상
입구:
ISO250
콘센트:
KF40
소음:
70DB(A) 이하
무게:
846kg
치수:
1076×516×988mm
냉각수:
0.1-0.6MPa, 11L/분
N2 퍼지:
0.2-0.6MPa, 43/97/123L/분
강조하다:

High Light

강조하다:

GRH6002 건조 손톱 진공 펌프

,

6000 m3/h 기름 없는 진공 펌프

,

반도체 공정 진공 펌프

거래 정보
최소 주문 수량:
1세트
가격:
negotiable
포장 세부 사항:
표준 목재 케이스 포장 수출
배달 시간:
25-40 영업일
지불 조건:
티/티
공급 능력:
20 세트/달
제품 설명

GRH6002 건조 손톱 진공 펌프 6000 m3/h 초고 용량 솔루션

GRH6001는 GRH 시리즈의 대표 모델로, 최종 압력 ≤0.5 Pa와 함께 6000 m3/h의 인상적인 펌프 속도를 제공합니다. ISO250 입구, 11 + 7.5 kW의 이중 모터 구성,그리고 견고한 846kg 산업 건축, 그것은 가장 까다로운 대규모 반도체, 태양광 및 리?? 배터리 제조 시설을 위해 설계되었습니다.

주요 특징

  • 초고량 용량:6000 m3/h 펌프 속도 가장 강력한 GRH 시리즈 모델
  • 기름 없는 손톱 기술:민감한 반도체 프로세스에 대한 기름 오염 위험이 없습니다.
  • 이중 모터 시스템:11+7.5 kW 영구 자석 동기 모터
  • ISO250 큰 입구:대용량 생산 라인을 위한 대용량 가스 흐름 처리
  • 우수한 먼지 처리:가혹한 환경에 대한 첨단 손톱 로터 설계
  • 산업용 건물:846kg 견고한 구조와 1076*516*988mm 발자국
  • 낮은 소음:≤ 70 dB (A) 는 높은 펌프 용량에도 불구하고
  • 첨단 밀폐:3층 보호: 입술 봉쇄 + 미로 + 질소 정화
  • 원격 정보:전체 공장 통합을 위한 I/O + RS485 (Modbus)

기술 사양

모델 GRH6002
펌프 속도 6000m3/h
극심 한 압력 ≤0.5 Pa
모터 전력 11 + 7.5 kW
전압 380V (3단계)
입구 연결 ISO250
전원 연결 KF40
소음 수준 ≤70 dB (A)
무게 846kg
크기 (L*W*H) 1076 * 516 * 988 mm
냉각 물 압력 00.6 MPa
냉각 물 흐름 11 L/min
N2 정화 압력 0.2·0.6 MPa
N2 정화 흐름 43/97/123 L/min
작동 온도 5~40°C, RH ≤90%

신청서

  • 대용량 반도체: 대용량 에치, 이온 이식, CVD 프로세스
  • 태양광 메가 공장: 결정 성장 및 양대 규모의 전지 제조
  • 리?? 배터리 기가팩토리: 셀 건조, 전해질 채우기, 탈가스화
  • 평면 화면 제조: LCD, LED, OLED 생산 라인