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GRH1202 건조 손톱 진공 펌프 반도체 CVD 프로세스를 위한 기름 없는 산업 진공 펌프 1200 m3/h

GRH1202 건조 손톱 진공 펌프 반도체 CVD 프로세스를 위한 기름 없는 산업 진공 펌프 1200 m3/h

제품 세부 정보:
원래 장소: 중국
브랜드 이름: Baosi
인증: ISO9001,ISO14001,ISO45001
모델 번호: GRH1202
상세 정보
원래 장소:
중국
브랜드 이름:
Baosi
인증:
ISO9001,ISO14001,ISO45001
모델 번호:
GRH1202
펌핑 속도:
1200m3/h
궁극의 압력:
≤0.5Pa
모터 파워:
7.5+1.9kW
전압:
380V/3상
입구:
ISO100
콘센트:
KF40
소음:
70DB(A) 이하
무게:
220kg
치수:
821×420×791mm
냉각수:
0.1-0.6MPa, ≥4.7L/분
N2 퍼지:
0.2-0.6MPa, 4-96L/분
강조하다:

High Light

강조하다:

건조 손톱 진공 펌프 1200m3/h

,

기름 없는 산업용 진공 펌프

,

반도체 CVD 진공 펌프

거래 정보
최소 주문 수량:
1세트
가격:
negotiable
포장 세부 사항:
표준 목재 케이스 포장 수출
배달 시간:
30-45 근무일
지불 조건:
티/티
공급 능력:
50 세트/달
제품 설명

GRH1202 건식 클로 진공 펌프 — 1200m³/h 오일 프리 산업용 솔루션

GRH1202는 까다로운 반도체, 광전지 및 리튬 배터리 제조 공정을 위해 설계된 GRH 시리즈의 고성능 건식 클로 진공 펌프입니다. 1200m³/h의 펌핑 속도와 0.5Pa 이하의 최종 압력으로 오염 위험 없이 안정적인 오일 프리 진공을 제공합니다.

주요 특징

  • 오일 프리 클로 메커니즘:펌프 챔버에는 오일이나 작동 매체가 포함되어 있지 않아 민감한 공정에 적합한 깨끗한 진공을 보장합니다.
  • 영구 자석 동기 모터:기존 모터에 비해 에너지 소비가 적습니다.
  • 고급 로터 디자인:열악한 공정 환경을 위한 향상된 먼지 입자 처리 기능
  • 먼지 및 증기에 대한 내성:펌핑된 가스의 먼지와 수증기에 둔감함
  • 컴팩트한 설치 공간:높은 시스템 통합을 통한 공간 절약형 설계(821 * 420 * 791 mm)
  • 포괄적인 보호:강력한 자체 적응 기능을 갖춘 완벽한 보호 기능
  • 낮은 진동 및 소음:최대 압력에서 작동 시 70dB(A) 이하
  • 고급 밀봉:질소 퍼지와 결합된 립 씰 및 래버린스 씰 시스템은 오일 오염을 방지합니다.
  • 원격 제어:원격 모니터링 및 제어를 위한 I/O 인터페이스 및 RS485(Modbus 프로토콜)

기술 사양

모델GRH1202
펌핑 속도1200m3/h
궁극의 압력≤0.5Pa
모터 파워7.5 + 1.9kW
전압380V(3상)
입구 연결ISO100
콘센트 연결KF40
소음 수준70dB(A) 이하
무게220kg
치수(L*W*H)821*420*791mm
냉각수 압력0.1~0.6MPa
냉각수 흐름≥4.7L/분
N₂ 퍼지 압력0.2~0.6MPa
N₂ 퍼지 흐름4~96L/분
작동 온도5~40°C; 80% 이하

응용

  • 반도체: 식각, 이온 주입, CVD, ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
  • 태양광발전: 결정성장로, 태양전지 제조
  • 리튬 배터리: 셀 진공 건조, 전해질 충전, 탈기