GRH1202는 까다로운 반도체, 광전지 및 리튬 배터리 제조 공정을 위해 설계된 GRH 시리즈의 고성능 건식 클로 진공 펌프입니다. 1200m³/h의 펌핑 속도와 0.5Pa 이하의 최종 압력으로 오염 위험 없이 안정적인 오일 프리 진공을 제공합니다.
| 모델 | GRH1202 |
| 펌핑 속도 | 1200m3/h |
| 궁극의 압력 | ≤0.5Pa |
| 모터 파워 | 7.5 + 1.9kW |
| 전압 | 380V(3상) |
| 입구 연결 | ISO100 |
| 콘센트 연결 | KF40 |
| 소음 수준 | 70dB(A) 이하 |
| 무게 | 220kg |
| 치수(L*W*H) | 821*420*791mm |
| 냉각수 압력 | 0.1~0.6MPa |
| 냉각수 흐름 | ≥4.7L/분 |
| N₂ 퍼지 압력 | 0.2~0.6MPa |
| N₂ 퍼지 흐름 | 4~96L/분 |
| 작동 온도 | 5~40°C; 80% 이하 |