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GRM201 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 반도체 정화 공정을 위한 오일 없는 컴팩트 진공 펌프 200 m3/h

Name: GRM201 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 반도체 정화 공정을 위한 오일 없는 컴팩트 진공 펌프 200 m3/h
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM201
Price: 1,710.00 USD
Availability: InStock

제품 세부 정보:

원래 장소:	중국
브랜드 이름:	Baosi
인증:	ISO9001,ISO14001,ISO45001
모델 번호:	GRM201

상세 정보

원래 장소:

중국

브랜드 이름:

Baosi

인증:

ISO9001,ISO14001,ISO45001

모델 번호:

GRM201

펌핑 속도:

200 m³/h

궁극의 압력:

≤0.5Pa

모터 파워:

1.9 KW

전압:

380V/3상

입구:

ISO63

콘센트:

KF25

소음:

63dB(A) 이하

무게:

150kg

치수:

741×344×466mm

냉각수:

0.1-0.6MPa, ≥3L/분

N2 퍼지:

0.2-0.6MPa, 12-50L/분

강조하다:

High Light

강조하다:

GRM201 다단계 건조 진공 펌프

유 없는 콤팩트 진공 펌프

반도체 청정 공정 진공 펌프

거래 정보

최소 주문 수량:

1세트

가격:

negotiable

포장 세부 사항:

표준 목재 케이스 포장 수출

배달 시간:

영업일 기준 15-25일

지불 조건:

티/티

공급 능력:

60 세트/월

제품 설명

GRM201 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 200 m3/h 콤팩트 기름 없는 솔루션

GRM201는 다단계 콤팩트한 뿌리 건조 진공 펌프로, ≤63 dB ((A) 의 극소음 작동과 함께 200 m3/h의 펌프 속도를 제공합니다.기름 없는 다단계 뿌리 디자인은 깨끗한 반도체 및 중형 반도체 프로세스에 이상적입니다., 광전기 제조 및 리?? 배터리 생산 라인에서 오염이 없는 진공을 최소화해야 합니다.

주요 특징

다단계 뿌리 설계:높은 펌프 효율을 가진 낮은 전력 소비
극정 조용한 작전≤63 dB (A) ∙ 그 클래스 중 가장 조용한
기름 없는 메커니즘펌프 챔버는 깨끗한 공정 호환성을 위해 절대적으로 기름이 없습니다
영구 자석 동기 모터:1.9kW, 에너지 효율이 뛰어나다
우수한 먼지 처리:향상된 입자 배기가스용 첨단 로터 구조
콤팩트 발자국:단지 741 * 344 * 466 mm, 150 kg
먼지 및 증기 내성이:가공 부산물 및 수분에 민감하지 않습니다.
완전한 보호:적응력 있는 종합적인 안전장치
스마트 컨트롤:I/O 및 RS485 (Modbus 프로토콜) 원격 모니터링
세 번 봉인:입술 밀폐 + 미로 밀폐 + 질소 정화 보장 된 기름 없는 진공

기술 사양

모델	GRM201
펌프 속도	200m3/h
최후 압력 (청소 없이)	≤0.5 Pa
모터 전력	1.9kW
전압	380V (3단계)
입구 연결	ISO63
전원 연결	KF25
소음 수준	≤ 63 dB ((A)
무게	150kg
크기 (LWH)	741 * 344 * 466 mm
냉각 물 압력	00.6 MPa
냉각 물 흐름	≥3L/min
N2 정화 압력	0.2·0.6 MPa
N2 정화 흐름	12~50 L/min
작동 온도	5~40°C, RH ≤90%

신청서

반도체 청정/중간 프로세스: ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
태양광: 크리스탈 성장 오븐, 태양 전지 제조
리?? 배터리: 셀 진공 건조, 전해질 채우기, 탈가스
연구 개발 연구소: 대학 및 산업 연구 진공 시스템

태그:

GRM201 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 반도체 정화 공정을 위한 오일 없는 컴팩트 진공 펌프 200 m3/h

High Light

강조하다:

GRM201 다단계 건조 진공 펌프

유 없는 콤팩트 진공 펌프

반도체 청정 공정 진공 펌프

GRM201 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 200 m3/h 콤팩트 기름 없는 솔루션

주요 특징

기술 사양

신청서

터보 진공 펌프,

고 진공 펌프,

GRM201 다단계 건조 진공 펌프

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