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수냉식 건식 진공 펌프 200m³/h, ≤0.5Pa, 1.9kw, GRM201

수냉식 건식 진공 펌프 200m³/h, ≤0.5Pa, 1.9kw, GRM201

제품 세부 정보:
원래 장소: 중국
브랜드 이름: BSC
인증: ISO9001,ISO14001,OHSAS18001
모델 번호: GRM201
상세 정보
원래 장소:
중국
브랜드 이름:
BSC
인증:
ISO9001,ISO14001,OHSAS18001
모델 번호:
GRM201
냉각방식:
수냉식
펌핑 속도:
200 m³/h
최후 통첩 압력:
≤0.5Pa
정격 출력:
1.9
정격전압:
380V
강조하다:

High Light

강조하다:

터보 진공 펌프

,

높은 진공 펌프

거래 정보
최소 주문 수량:
1
가격:
1
포장 세부 사항:
나무 상자
배달 시간:
7 작업 일
지불 조건:
티/티
공급 능력:
달 당 500 단위
제품 설명

 

사양

  • 낮은 전력 소비,
  • 높은 배기 속도,
  • 강력한 먼지 제거 능력,
  • 쉽게 응축 가능한 공정 가스를 운송하는 능력.

안정적인 배기 속도는 대량 배기량을 가진 공정에 적합하며, 높은 신뢰성과 낮은 운영 및 유지 보수 비용을 제공합니다. 태양광 및 반도체 산업의 PECVD, MOCVD, SiC-CVD와 같은 깨끗하고, 중간 정도이며, 까다로운 공정에 적합합니다.
 

 

제품 특징

 

  • 영구 자석 동기 모터를 사용하여 에너지 소비를 줄입니다.
  • 향상된 로터 구조는 펌프의 먼지 제거 능력을 향상시킵니다.
  • 펌핑된 가스의 먼지와 수증기에 둔감합니다.
  • 컴팩트한 구조, 작은 전체 크기, 높은 시스템 효율성;
  • 포괄적인 보호 기능과 강력한 자가 적응성;
  • 작동 중 낮은 진동 및 소음; 고급 립 씰 및 래비린스 씰 시스템은 질소 퍼징과 결합되어 오일이 없는 펌프 챔버를 효과적으로 보장하여 공정 챔버의 진공 청정도를 향상시킵니다.
  • I/O 인터페이스 및 RS-485 인터페이스(Moudbus 프로토콜)를 통해 원격 제어 및 모니터링 기능이 가능합니다.

 

기술 파라미터

 

모델 단위       GRM201
배기 속도 m³/h 200
최종 압력 Pa ≤0.5
정격 전력 kW 1.9
정격 전압 V 380
냉각수 압력 MPa 0.1-0.6
유량 L/min ≥3
온도 5~30
커넥터 - G3/8
N2퍼지 압력 MPa 0.2~0.6
유량 L/min 12~50
커넥터 - G1/4
입구 - ISO63
출구 - KF25
소음 dB ≤63
작동 온도 5~40
무게 kgs 150

 

 

배기 곡선

 

수냉식 건식 진공 펌프 200m³/h, ≤0.5Pa, 1.9kw, GRM201 0

 

도면 

 

수냉식 건식 진공 펌프 200m³/h, ≤0.5Pa, 1.9kw, GRM201 1

 

응용 분야 :

 

태양광 및 반도체 산업의 PECVD, MOCVD, SiC-CVD와 같은 깨끗하고, 중간 정도이며, 까다로운 공정에 적합합니다.