이 드라이 펌프는 높은 배기 속도, 넓은 압력 범위 및 안정적인 성능을 갖춘 핵심 진공 장비이며 다음과 같은 주요 산업 분야에서 널리 사용됩니다:
가장 중요한 응용 분야는 웨이퍼 가공, 칩 에칭, 이온 주입, 박막 증착, 반도체 패키징 및 반도체 장비의 진공 청소에 사용됩니다.
하드웨어, 유리, 플라스틱, 광학 부품, 자동차 부품 및 장식 필름 코팅에 대한 진공 증착 코팅, 마그네트론 스퍼터링 코팅, 이온 플레이팅에 적용됩니다.
제약 원료의 진공 건조, 진공 증류, 결정화, 용매 회수, 생물학적 제품의 동결 건조(동결 건조) 및 제약 생산 공정에 사용됩니다.
화학 생산에서 진공 증류, 분자 증류, 진공 탈기, 진공 여과, 반응기 진공 공급/배출 및 휘발성 유기 화합물(VOC) 회수에 적합합니다.
진공 포장, 진공 탈수, 식품의 동결 건조, 과즙/시럽의 진공 농축 및 음료 제품의 진공 탈기에 적용됩니다.
금속 부품의 진공 제련, 진공 브레이징, 진공 열처리, 진공 소결 및 비철금속의 탈기에 사용됩니다.
폐가스 진공 수집, 매립지 가스 추출, 하수 진공 탈기 및 VOC 폐가스 처리 시스템에 적용됩니다.
리튬 배터리 생산(전극 건조, 전해액 주입, 셀 형성), 태양광 실리콘 웨이퍼 가공, 물 전기 분해에 의한 수소 생산 및 연료 전지 제조에 중요합니다.
항공 우주 부품의 진공 시뮬레이션 테스트, 항공기 부품의 진공 누출 감지, 위성 부품 가공 및 항공 우주 장비의 진공 열 테스트에 사용됩니다.
주조의 진공 주조, 주조품의 진공 함침, 금형 진공 펌핑 및 정밀 가공의 진공 흡착에 적용됩니다.
광학 렌즈의 진공 가공, 유리 진공 탈기, 광섬유 제조 및 유리 제품의 진공 어닐링에 적합합니다.
중저 진공 범위에서 높은 배기 속도, 강력한 역류 방지 능력, 가혹한 작업 조건에서 안정적인 작동, 초고진공 요구 사항을 위한 진공 장치를 형성하기 위한 다른 진공 펌프와의 호환성.