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GRM602 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 600 m3/h 반도체 공정용 석유 없는 중량 진공 펌프

GRM602 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 600 m3/h 반도체 공정용 석유 없는 중량 진공 펌프

제품 세부 정보:
원래 장소: 중국
브랜드 이름: Baosi
인증: CE
모델 번호: GRM601
상세 정보
원래 장소:
중국
브랜드 이름:
Baosi
인증:
CE
모델 번호:
GRM601
펌핑 속도:
600 m3/h
궁극의 압력:
≤0.15 Pa
모터 파워:
1.9+1.9kW
전압:
380V/3상
입구:
ISO100
콘센트:
KF25
소음:
63dB(A) 이하
무게:
260kg
치수:
865×344×751mm
냉각수:
0.1-0.6MPa, ≥4L/분
N2 퍼지:
0.2-0.6MPa, 12-50L/분
강조하다:

High Light

강조하다:

GRM602 기름 없는 건조 진공 펌프

,

다단계 뿌리 진공 펌프

,

반도체 공정용 진공펌프

거래 정보
최소 주문 수량:
1세트
가격:
negotiable
포장 세부 사항:
표준 목재 케이스 포장 수출
배달 시간:
15-30 영업일
지불 조건:
티/티
공급 능력:
50 세트/달
제품 설명

GRM602 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 600 m3/h 중량 용량 솔루션

GRM601은 중량 다단계 뿌리 건조 진공 펌프로 0.15Pa의 인상적 인 최종 압력으로 600m3/h 펌프 속도를 제공합니다. 이중 1.9 + 1입니다.9 kW 영구 자석 동기 모터는 반도체에 대한 신뢰할 수있는 기름 없는 진공을 제공합니다., 광전기 및 리?? 배터리 응용 프로그램.

주요 특징

  • 다단계 뿌리 설계:높은 펌프 속도와 낮은 전력 소비
  • 이중 모터 구성:1균형 잡힌 효율적인 작동을 위해.9+1.9 kW
  • 극저압 최후압:≤0.15 Pa, 까다로운 프로세스 요구 사항
  • 초음성:≤63 dB ((A) ✅ 청정실 환경에 이상적입니다.
  • 기름 없는 메커니즘민감한 공정에서 기름 오염이 없거나
  • 우수한 입자 처리:먼지 과정에 대한 고급 로터 구조
  • 컴팩트 통합:865 * 344 * 751 mm, 260 kg
  • 먼지 및 증기에 민감하지 않습니다:공정 부산물 및 수분과 관련하여 신뢰할 수 있습니다.
  • 첨단 밀폐:입술 봉쇄 + 미로 + 질소 정화 보호
  • 원격 정보:공장 자동화를 위한 I/O 및 RS485 (Modbus)

기술 사양

모델 GRM602
펌프 속도 600m3/h
최후 압력 (청소 없이) ≤0.15 Pa
모터 전력 1.9 + 1.9 kW
전압 380V (3단계)
입구 연결 ISO100
전원 연결 KF25
소음 수준 ≤ 63 dB ((A)
무게 260kg
크기 (L*W*H) 865 * 344 * 751 mm
냉각 물 압력 00.6 MPa
냉각 물 흐름 ≥4 L/min
N2 정화 압력 0.2·0.6 MPa
N2 정화 흐름 12~50 L/min
작동 온도 5~40°C, RH ≤90%

신청서

  • 반도체: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, 금속 에치, 실리콘 에치
  • 태양광: 크리스탈 성장, 태양 전지 제조
  • 리?? 배터리: 셀 건조, 전해질 채우기, 탈가스화
  • 플래트 패널 디스플레이: LED 및 LCD 제조 공정