GRM601은 중량 다단계 뿌리 건조 진공 펌프로 0.15Pa의 인상적 인 최종 압력으로 600m3/h 펌프 속도를 제공합니다. 이중 1.9 + 1입니다.9 kW 영구 자석 동기 모터는 반도체에 대한 신뢰할 수있는 기름 없는 진공을 제공합니다., 광전기 및 리?? 배터리 응용 프로그램.
| 모델 | GRM602 |
| 펌프 속도 | 600m3/h |
| 최후 압력 (청소 없이) | ≤0.15 Pa |
| 모터 전력 | 1.9 + 1.9 kW |
| 전압 | 380V (3단계) |
| 입구 연결 | ISO100 |
| 전원 연결 | KF25 |
| 소음 수준 | ≤ 63 dB ((A) |
| 무게 | 260kg |
| 크기 (L*W*H) | 865 * 344 * 751 mm |
| 냉각 물 압력 | 00.6 MPa |
| 냉각 물 흐름 | ≥4 L/min |
| N2 정화 압력 | 0.2·0.6 MPa |
| N2 정화 흐름 | 12~50 L/min |
| 작동 온도 | 5~40°C, RH ≤90% |