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GRH1802 건조 손톱 진공 펌프 1800 m3/h 반도체 제조용 고속 기름 없는 진공 펌프

GRH1802 건조 손톱 진공 펌프 1800 m3/h 반도체 제조용 고속 기름 없는 진공 펌프

제품 세부 정보:
원래 장소: 중국
브랜드 이름: Baosi
모델 번호: GRH1802
상세 정보
원래 장소:
중국
브랜드 이름:
Baosi
모델 번호:
GRH1802
펌핑 속도:
1800m³/h
궁극의 압력:
≤0.5Pa
모터 파워:
7.5+4.5kW
전압:
380V/3상
입구:
ISO160
콘센트:
KF40
소음:
<70dB(A)
무게:
472kg
치수:
935×420×795mm
냉각수:
0.3-0.6MPa, 6L/분
N2 퍼지:
0.25-0.69MPa, 4-96L/분
강조하다:

High Light

강조하다:

고속 건조 진공 펌프

,

1800m3h 손톱 진공 펌프

,

반도체 공정용 진공펌프

거래 정보
최소 주문 수량:
1세트
가격:
USD 20000-280000/Set
포장 세부 사항:
표준 목재 케이스 포장 수출
배달 시간:
15-30 영업일
지불 조건:
티/티
공급 능력:
50 세트/달
제품 설명

GRH1802 건조 손톱 진공 펌프 1800 m3/h 기름 없는 산업용 솔루션

GRH1802는 GRH 시리즈의 고성능 건조 손톱 진공 펌프로 최종 압력 ≤0.5 Pa로 1800 m3/h 펌프 속도를 제공합니다.기름 없는 손톱 메커니즘은 반도체 사용에 이상적입니다., 태양광 및 리?? 배터리 제조 프로세스 오염 없는 진공 환경을 요구합니다.

주요 특징

  • 기름 없는 손톱 메커니즘펌프 챔버에 기름이나 작업 매체가 없으므로 공정 청결성을 보장합니다.
  • 영구 자석 동기 모터:더 낮은 운영 비용을 위해 더 높은 에너지 효율성
  • 첨단 로터 설계:가혹한 공정 조건에서 더 나은 먼지 배기 능력
  • 먼지 및 증기에 민감하지 않습니다:펌프 가스에서 먼지와 수증기를 안정적으로 처리합니다.
  • 컴팩트 & 통합:공간 효율적인 설계 (935 * 420 * 795 mm, 472 kg)
  • 완전한 보호:강력한 적응 제어와 함께 포괄적 인 보호
  • 낮은 진동 및 소음:최상압에서 70dB (A) 이하
  • 첨단 밀폐 시스템:입술 밀폐 + 미로 밀폐 + 기름 없는 진공용 질소 정화
  • 원격 모니터링:원격 제어용 I/O 및 RS485 (Modbus) 인터페이스

기술 사양

모델GRH1802
펌프 속도1800m3/h
극심 한 압력≤0.5 Pa
모터 전력7.5 + 4.5kW
전압380V (3단계)
입구 연결ISO160
전원 연결KF40
소음 수준<70 dB (A)
무게472kg
크기 (L*W*H)935*420*795mm
냉각 물 압력0.3·0.6 MPa
냉각 물 흐름6 L/min
N2 정화 압력0.25·0.69 MPa
N2 정화 흐름4~96 L/min
작동 온도5~40°C, RH ≤80%

신청서

  • 반도체: 에치, 이온 이식, CVD (ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD)
  • 태양광: 크리스탈 성장 오븐, 태양 전지 제조
  • 리?? 배터리: 셀 진공 건조, 전해질 채우기, 탈가스