GRH1802는 GRH 시리즈의 고성능 건조 손톱 진공 펌프로 최종 압력 ≤0.5 Pa로 1800 m3/h 펌프 속도를 제공합니다.기름 없는 손톱 메커니즘은 반도체 사용에 이상적입니다., 태양광 및 리?? 배터리 제조 프로세스 오염 없는 진공 환경을 요구합니다.
| 모델 | GRH1802 |
| 펌프 속도 | 1800m3/h |
| 극심 한 압력 | ≤0.5 Pa |
| 모터 전력 | 7.5 + 4.5kW |
| 전압 | 380V (3단계) |
| 입구 연결 | ISO160 |
| 전원 연결 | KF40 |
| 소음 수준 | <70 dB (A) |
| 무게 | 472kg |
| 크기 (L*W*H) | 935*420*795mm |
| 냉각 물 압력 | 0.3·0.6 MPa |
| 냉각 물 흐름 | 6 L/min |
| N2 정화 압력 | 0.25·0.69 MPa |
| N2 정화 흐름 | 4~96 L/min |
| 작동 온도 | 5~40°C, RH ≤80% |