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GRM4201 대형 다단계 루츠 건식 진공 펌프 4200m³/h 로드록 이송용 오일 프리

GRM4201 대형 다단계 루츠 건식 진공 펌프 4200m³/h 로드록 이송용 오일 프리

제품 세부 정보:
원래 장소: 중국
브랜드 이름: Baosi
인증: CE
모델 번호: GRM4201
상세 정보
원래 장소:
중국
브랜드 이름:
Baosi
인증:
CE
모델 번호:
GRM4201
궁극의 압력:
≤0.5Pa
펌핑 속도:
4200m³/h
입구:
ISO160
치수:
1695×600×1450mm(메인) + 295×600×1450mm(부스터)
소음:
≤75 dB (a)
무게:
1400KG
강조하다:

High Light

강조하다:

대형 뿌리 건식 진공 펌프

,

4200m3h 로드락 진공

,

고용량 반도체 펌프

거래 정보
최소 주문 수량:
1세트
가격:
USD 22000-35000/Set
포장 세부 사항:
표준 목재 케이스 포장 수출
배달 시간:
30-45 근무일
지불 조건:
T/T,L/C
공급 능력:
15개 세트 / 달
제품 설명
GRM4201 대형 다단계 뿌리 건조 진공 펌프 4200 m3/h 고용량 솔루션

GRM4201은 로드-락 챔버, 전송 챔버 및 빠른 펌프 다운 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 대규모 다단계 뿌리 건조 진공 펌프입니다.4200m3/h 펌프 속도와 13+10 kW 듀얼 모터 구성, 그것은 빠른 사이클과 높은 진공 무결성이 중요한 이성 결합 태양 전지 제조 및 리?? 배터리 gigafactories의 요구를 충족합니다.

주요 특징
  • 초고량 용량:4200m3/h 빠른 로드-락 펌프 다운 사이클
  • 다단계 뿌리 + 부스터:넓은 작업 압력 범위의 높은 진공
  • 강력한 이중 모터:13+10 kW 영구 자석 동기 모터
  • 독특한 로터 디자인:낮은 에너지 소비와 높은 효율을 위해 최적화
  • 기름 없는 깨끗한 진공:기름 오염이 없습니다 반도체 및 태양광에 이상적입니다.
  • 정밀 제조:첨단 CNC 가공 로터 완전 교환성
  • 두 개의 끝 베어링 지원:극도로 안정적인 로터 지원, 최소 진동
  • 우수한 시작 신뢰성:까다로운 프로세스 사이클을 위해 설계되었습니다.
  • 첨단 밀폐:입술 봉쇄 + 랩린트 오일 장벽 + 질소 정화
  • 물 냉각 밀폐 모터:기름 누출 위험을 제거하고 사용 수명을 연장합니다.
  • 지능형 제어:I/O와 RS485 (Modbus-RTU) 를 가진 한 터치 시작/정지
기술 사양
모델 GRM4201
펌프 속도 4200m3/h
최후 압력 (청소 없이) ≤0.5 Pa
모터 전력 13 + 10kW
전압 380V (3단계)
입구 연결 ISO160
전원 연결 KF50
소음 수준 (소음 억제기와 함께) ≤75 dB ((A)
무게 1400 kg (주력 펌프)
크기 √ 주 펌프 (L*W*H) 1695 * 600 * 1450mm
차원 ∼ 부스터 (L*W*H) 295 * 600 * 1450 mm
냉각 물 압력 00.7 MPa
냉각 물 흐름 8~10 L/min
N2 정화 압력 0.2·0.5 MPa
N2 정화 흐름 0·120 L/min
작동 온도 5~40°C, RH ≤80%
신청서
  • 반도체 제조: 로드 잠금 챔버, 전송 모듈, 프로세스 인터페이스
  • 헤테로 융합 (HJT) 태양 전지: PECVD 진공, 빠른 펌프 다운
  • 리?? 배터리 기가팩토리: 대용량 세포 건조 및 진공 처리
  • 진공 코팅: 챔버 진공을 유지하면서 기판 전송을 위한 로드 잠금