GRM4201은 로드-락 챔버, 전송 챔버 및 빠른 펌프 다운 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 대규모 다단계 뿌리 건조 진공 펌프입니다.4200m3/h 펌프 속도와 13+10 kW 듀얼 모터 구성, 그것은 빠른 사이클과 높은 진공 무결성이 중요한 이성 결합 태양 전지 제조 및 리?? 배터리 gigafactories의 요구를 충족합니다.
| 모델 | GRM4201 |
| 펌프 속도 | 4200m3/h |
| 최후 압력 (청소 없이) | ≤0.5 Pa |
| 모터 전력 | 13 + 10kW |
| 전압 | 380V (3단계) |
| 입구 연결 | ISO160 |
| 전원 연결 | KF50 |
| 소음 수준 (소음 억제기와 함께) | ≤75 dB ((A) |
| 무게 | 1400 kg (주력 펌프) |
| 크기 √ 주 펌프 (L*W*H) | 1695 * 600 * 1450mm |
| 차원 ∼ 부스터 (L*W*H) | 295 * 600 * 1450 mm |
| 냉각 물 압력 | 00.7 MPa |
| 냉각 물 흐름 | 8~10 L/min |
| N2 정화 압력 | 0.2·0.5 MPa |
| N2 정화 흐름 | 0·120 L/min |
| 작동 온도 | 5~40°C, RH ≤80% |