BAOSI VACUUM FFZ250/2000PM-W, 수냉식 터보분자 진공 펌프
특징
기술 파라미터
모델 |
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FFZ250/2000PM-W
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입구 플랜지 |
- |
CF250 |
LF250 |
출구 플랜지 |
- |
KF40 |
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배기 속도 |
L/s |
2000 |
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압축비 N2/H2 |
- |
1×108/6×103 |
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최종 압력 |
Pa |
6×10-6 |
6×10-7 |
회전 속도 |
rpm |
24000 |
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기동 시간 |
분 |
<7 |
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진동 |
μm |
≤0.15 |
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전진 진공 펌프 속도 |
L/s |
15 |
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냉각수 온도 |
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≤25 |
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냉각수 유량 |
L/s |
≥1 |
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최대 전력 |
W |
≤750 |
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전압 |
V |
220 |
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설치 방향 |
- |
어떤 방향이든 |
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무게 |
kg |
40kgs |
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외부 도면
![]()
➢ 반도체 및 마이크로 전자공학
➢ 진공 코팅 (PVD/CVD) ➢ 과학 연구 및 실험실 분석 ➢ 진공 열처리 및 야금 ➢ 광전자 및 레이저 제조➢ 리튬 배터리 및 신에너지 재료 가공
➢ 분석 기기